蘇州希景微機(jī)電科技有限公司成立于2017年,位于江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū),是一家依托于中科院所的高科技企業(yè),主要從事MEMS掃描微鏡的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn),并提供激光雷達(dá)核心掃描模組和發(fā)射模組。MEMS掃描微鏡的鏡面直徑通常為數(shù)毫米,采用紅外高反射薄膜,可以滿(mǎn)足大功率激光應(yīng)用的要求。微鏡上集成制造了角度傳感器,通過(guò)控制電路采集傳感器的反饋信號(hào)以實(shí)現(xiàn)對(duì)MEMS掃描微鏡的閉環(huán)控制。